镜像桨

微纳纤维Sic材料产品镜像桨，是半导体晶圆装载系统的关键部位。镜像桨性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆装载量大，适用于机器人自动装载和搬运系统。由于微纳纤维SiC镜像桨截面稳定不变形，使得用现有的炉管制备更大规格的晶圆成为可能微纳纤维SiC镜像桨与PLCVD涂层的热膨胀系数相近，因此应用于PLCVD可极大地延长维护清洗周期，并大幅减少污染物。

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微纳纤维Sic材料产品镜像桨，是半导体晶圆装载系统的关键部位。镜像桨性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆装载量大，适用于机器人自动装载和搬运系统。由于微纳纤维SiC镜像桨截面稳定不变形，使得用现有的炉管制备更大规格的晶圆成为可能。

微纳纤维SiC镜像桨与PLCVD涂层的热膨胀系数相近，因此应用于PLCVD可极大地延长维护清洗周期，并大幅减少污染物。

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